300MM FOUP自动开盒机

      桌上式自动300mm FOUP开盒机。

         当需要取放FOUP内的晶圆时，AFO解锁、移除和存储FOUP门。FOUP下方的旋转底座机构允许360度旋转，将打开的FOUP定位在最符合人体工程学的进入位置。

 通常安装在FOUP清洗站用以拆卸和重新组装pod。