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FOUP / FOSB manual cleaning system
晶圆盒/光罩盒清洗机 FOUP/SMIF POD CLEANER
基本特征描述
1. 基于充分验证的喷淋& 吹扫 干燥工艺
2. 高稳定性的传输系统
3. 客户定制，占地面积小，紧凑设计。 尺寸:1560W*1870L*1950H
选项:表面活性剂添加用计量泵
4 采用经过清洗 & 高纯净度的零件，降低了工艺颗粒数值
5. 工艺兼容性(pod,foup,cassette,甚至可以清洗一些不同形状尺寸的零件)
自动传输系统
1. 上载下载单元，传输台: 篮框检测传感器(1#,2#)
2. 聚氨酯镀层的不锈钢滚轴由Oriental AC 马达驱动
3. 升降门关闭与光幕门禁传感器连锁
4. 上下部安装有高电压低电流的防静电 离子风刀
5. 高灵敏度激光传感器监测腔内篮框 的运动
6. Ptfe 轴密封, Pom滚轴有很好的耐 热稳定性
7. NSK 双轴承基座设计,链条传动
N2（氮气）/CDA（洁净干空气） 吹扫系统
1. 220V, 4.5KW 不锈钢加热器 *2
用于顶部,底部的吹扫加热
2. 吹除(Blow off)干燥:
采用高压空气吹除表面小液滴颗粒
3. 蒸发干燥:
更高的工艺空气温度及更低的相对湿度
4. 采用高温气体过滤器
5. PID 控制加热系统, PT100 N2 /CDA
温度传感器安装 ,加热器过热传感器安装在壳体内防止过热
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