晶圆读刻号机

主要用途 IC制程中读晶圆刻号,检查晶圆叠片/斜片 (200mm Wafer size) 应用范围 1. 读取晶圆刻号做制程管理 2. OP操作或制程前检查晶圆叠片/斜片以防止 破片情形 产品特色 1. Corgnex Wafer ID读取头可辨识 Barcode/OCR/2D-Dot Matrix 2. 具备计算机功能,可打印所读取之Wafer刻号 或是储存在主机内 3. 适用于符合SEMI Standard之Plastic Cassette 4. Wafer Mapping功能可检查斜差/叠片,晶圆 位置 5. 触控式LCD屏幕操作简易并可随时观察机器 运行状况 6. 垂直式方向无刮伤wafer 疑虑 7. 可经由SECS II联线至主机计算机 8. 桌上型设计,体积小,节省无尘室空间 9. 机器表面处理可防止金属氧化造成污染 10.可设定自动读取模式节省OP操作时间 |