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 半导体制造/WAFER FAB >> 晶圆读刻号机



晶圆读刻号机

 

 

 

 

 

 

 

主要用途 
IC制程中读晶圆刻号,检查晶圆叠片/斜片
(200mm Wafer size) 
应用范围 
1. 读取晶圆刻号做制程管理 
2. OP操作或制程前检查晶圆叠片/斜片以防止
    破片情形 
产品特色 
1. Corgnex Wafer ID读取头可辨识
    Barcode/OCR/2D-Dot Matrix 
2. 具备计算机功能,可打印所读取之Wafer刻号
    或是储存在主机内 
3. 适用于符合SEMI Standard之Plastic 
    Cassette 
4. Wafer Mapping功能可检查斜差/叠片,晶圆
    位置
5. 触控式LCD屏幕操作简易并可随时观察机器
    运行状况 
6. 垂直式方向无刮伤wafer 疑虑 
7. 可经由SECS II联线至主机计算机 
8. 桌上型设计,体积小,节省无尘室空间 
9. 机器表面处理可防止金属氧化造成污染 
10.可设定自动读取模式节省OP操作时间


点击数:1217  录入时间:2014/11/17 【打印此页】 【返回
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