光刻：

         Scanner Equipment Alignment Laser Head Repair

       光刻机厂商：NIKON/ASML/CANON/HITACHI/ULTRATECH

     步进式光刻机激光干涉仪激光头维修服务

      
        (1)  ASML-Green laser 50mW、Red laser 10mW、Z4203B、Z4203D

        (2)  HP-5517A、5517B、5517C、5517D、5517D

        (3)  Zygo Laser Head       Zygo-7701、7702 

    量测：

     TOPCON晶圆表面颗粒扫描仪WM-7 ,WM-7S, WM-10设备维修服务及备件

    VISTEC INS3000 ,LDS3000 系列设备维修服务与备件