|
手动晶圆贴膜机
用于晶圆切割前贴附蓝膜或UV膜
操作简便，速度快，效率高, 适用于8inch以下的晶圆
可指定配合各种形式之FRAME
配备直线切割TAPE刀具
可选购回收隔离层TAPE于回收筒中
台式设计,可选购晶圆盘预热功能
1. 主要规格
1.1 框架尺寸: 8英寸 （DISCO或者K&S任选一种）
1.2 膜种类: 蓝膜或者UV膜
宽度: 280-300毫米， 210-225毫米（6寸及以下）
长度: 100~200米
厚度: 0.05~0.2毫米
1.3 晶圆规格： 3，4，5，6，8英寸
1.4 贴膜原理: 防静电滚轮贴膜
1.5 工作台盘: 特氟隆涂层接触式台盘
1.6 装卸方式: 产品手动放置与取出
1.7切割系统: 直线刀切割仅在框架以外2-3毫米处，圆切割刀顺时针方向旋转切割。 独特的直切刀技术保证在同类机台胶膜应用最节省
1.8产品定位: CHUCK TABLE上对应WAFER形状的刻线，真空吸固定WAFER
1.9电力供应: 单相交流电220V,5A
1.10压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟1立方英尺
1.11体积: 560毫米(宽)*860毫米(深)*360毫米(高)
1.12净重: 40公斤
2. 机器性能:
2.1 晶圆收益: >=99.9%
2.2 贴膜质量: 没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3 每小时产能: >=90 片
|
半自动晶圆贴膜机(SEMI AUTOMATIC TAPEMOUNTER)
1.主要技术指标
1.1 晶圆尺寸： 直径：4"，5"，6"，&8"
1.2 晶圆种类： 硅，砷化镓或其他
单边，双边，V型缺口
1.3 膜种类： 蓝膜或者UV膜
宽度：210～300毫米
长度：100米
厚度：0.05～0.2毫米
1.4 晶圆框架： 6" DISCO 或者K&S标准
8"DISCO 或者K&S标准
客户制定标准
1.5 贴膜原理： 防静电滚轮贴膜
1.6 晶圆台盘： 通用特氟隆防静电涂层接触式台盘
1.7 装卸方式： 晶圆/框架手动放置与取出
1.8防静电控制： 防静电特氟隆防静电涂层接触式台盘/防静电膜传送滚轮和防静电贴膜滚轮
防静电离子风棒装置
1.9切割系统： 手动可调整环形切刀和直切刀
1.10 晶圆定位： 通用标线
1.11控制单元： 基于PLC控制带5"触摸屏
1.12电源电压： 单相交流电220V，10A
1.13压缩空气： 5公斤清洁干燥压缩空气，流量每分钟2立方英尺
1.14 机器外壳： 白色喷塑金属外壳
1.15 体积： 560毫米（宽）*880毫米（深）*500毫米（高）
1.16净重： 80公斤
2. 机器性能：
厚度：150～750微米
2.1 晶圆收益： ﹥=99.9%
2.2贴膜质量： 没有气泡（不包括碎粒气泡）
2.3 每小时产能： ﹥=80片晶圆
2.4 更换产品时间： ＜=5分钟 |
|
产品列表
行业链接
