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 半导体制造/WAFER FAB >> 晶圆检测 >> 化合物半导体晶圆缺陷检测设备

 

     化合物半导体晶圆缺陷检测设备

   Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷,最小可检测缺陷81nm;支持4"、6"、8"晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。

 

 

点击数:301  录入时间:2021/8/26 【打印此页】 【返回
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