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 半导体制造/WAFER FAB >> 光罩盒/片盒清洗机

  

         FOUP / FOSB manual cleaning system

          晶圆盒/光罩盒清洗机   FOUP/SMIF POD  CLEANER

    

  

  基本特征描述 

 1. 基于充分验证的喷淋& 吹扫 干燥工艺

 2. 高稳定性的传输系统

 3. 客户定制,占地面积小,紧凑设计。 尺寸:1560W*1870L*1950H

选项:表面活性剂添加用计量泵

 4 采用经过清洗 & 高纯净度的零件,降低了工艺颗粒数值

 5. 工艺兼容性(pod,foup,cassette,甚至可以清洗一些不同形状尺寸的零件)

 

 自动传输系统

 

 1. 上载下载单元,传输台: 篮框检测传感器(1#,2#)

 2. 聚氨酯镀层的不锈钢滚轴由Oriental AC 马达驱动

 3. 升降门关闭与光幕门禁传感器连锁

 4. 上下部安装有高电压低电流的防静电 离子风刀

 5. 高灵敏度激光传感器监测腔内篮框 的运动

 6. Ptfe 轴密封, Pom滚轴有很好的耐 热稳定性

 7. NSK 双轴承基座设计,链条传动

 

 N2(氮气)/CDA(洁净干空气) 吹扫系统

  

 1. 220V, 4.5KW 不锈钢加热器 *2

 用于顶部,底部的吹扫加热

 2. 吹除(Blow off)干燥:

 采用高压空气吹除表面小液滴颗粒

 3. 蒸发干燥:

 更高的工艺空气温度及更低的相对湿度

 4. 采用高温气体过滤器

 5. PID 控制加热系统, PT100 N2 /CDA

 温度传感器安装 ,加热器过热传感器安装在壳体内防止过热

 

点击数:192  录入时间:2021/5/11 【打印此页】 【返回
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